Kinetic energy dependence of TiSi2 film growth from low...

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 1999 Vol. 157; Iss. 1-4

Kinetic energy dependence of TiSi2 film growth from low energy Ti+ ion beams

S.M Lee, E.T Ada, H Lee, D Marton, J.W Rabalais
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Volume:
157
Année:
1999
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/s0168-583x(99)00416-4
Fichier:
PDF, 168 KB
english, 1999
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