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Residual stresses and ion implantation effects in Cr thin...

Residual stresses and ion implantation effects in Cr thin films

A Misra, S Fayeulle, H Kung, T.E Mitchell, M Nastasi
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Volume:
148
Année:
1999
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0168-583x(98)00780-0
Fichier:
PDF, 188 KB
english, 1999
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