Carbon nitride thin films prepared by a capacitively...

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 1996 Vol. 120; Iss. 1-4

Carbon nitride thin films prepared by a capacitively coupled RF plasma jet

G. Dinescu, E. Aldea, P. Boieriu, G. Musa, A. Andrei, M. Dinescu, G.J.H. Brussaard, R.J. Severens, M.C.M. van de Sanden, D.C. Schram
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Volume:
120
Année:
1996
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0168-583x(96)00531-9
Fichier:
PDF, 440 KB
english, 1996
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