A computationally efficient simulator for three-dimensional...

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 2001 Vol. 184; Iss. 4

A computationally efficient simulator for three-dimensional Monte Carlo simulation of ion implantation into complex structures

Di Li, Geng Wang, Yang Chen, Li Lin, Gaurav Shrivastav, Stimit Oak, Al Tasch, Sanjay Banerjee, Borna Obradovic
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Volume:
184
Année:
2001
Langue:
english
Pages:
9
DOI:
10.1016/s0168-583x(01)00699-1
Fichier:
PDF, 635 KB
english, 2001
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