Silicon-nanocrystal-based multiple-tunnel junction devices...

Microelectronic Engineering 2001 Vol. 57-58; Iss. none

Silicon-nanocrystal-based multiple-tunnel junction devices obtained by a combination of V-groove and ion beam synthesis techniques

P. Normand, E. Kapetanakis, D. Tsoukalas, A. Tserepi, E. Tsoi, K. Beltsios, K. Aidinis, S. Zhang, J. van den Berg
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Volume:
57-58
Année:
2001
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0167-9317(01)00432-4
Fichier:
PDF, 460 KB
english, 2001
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