Dose-rate effects on the formation of ultra-shallow...

Dose-rate effects on the formation of ultra-shallow junctions with low-energy B+ and BF2+ ion implants

Daniel F Downey, Carlton M Osburn, James J Cummings, Sonu Daryanani, Scott W Falk
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Volume:
308-309
Année:
1997
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/s0040-6090(97)00494-x
Fichier:
PDF, 884 KB
english, 1997
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