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Ellipsometric investigation of the Si/SiO2 interface...

Ellipsometric investigation of the Si/SiO2 interface formation for application to highly reflective dielectric mirrors

B Gallas, S Fisson, A Brunet-Bruneau, G Vuye, J Rivory
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Volume:
377-378
Année:
2000
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/s0040-6090(00)01383-3
Fichier:
PDF, 204 KB
english, 2000
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