Preparation of silane modified SiO2 abrasive particles and...

Wear 2011 Vol. 273; Iss. 1

Preparation of silane modified SiO2 abrasive particles and their Chemical Mechanical Polishing (CMP) performances

GuoShun Pan, ZhongHua Gu, Yan Zhou, Tuo Li, Hua Gong, Yan Liu
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Volume:
273
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.wear.2011.05.044
Fichier:
PDF, 593 KB
english, 2011
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