Epitaxial growth and electrical measurement of single...

Thin Solid Films 2012 Vol. 520; Iss. 14

Epitaxial growth and electrical measurement of single crystalline Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 thin film on Si(001) for micro-electromechanical systems

S. Yin, G. Niu, B. Vilquin, B. Gautier, G. Le Rhun, E. Defay, Y. Robach
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Volume:
520
Année:
2012
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.tsf.2011.11.073
Fichier:
PDF, 669 KB
english, 2012
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