Microcantilever sensors with embedded piezoresistive...

Sensors and Actuators A: Physical 2011 Vol. 171; Iss. 2

Microcantilever sensors with embedded piezoresistive transistor read-out: Design and characterization

Pushpapraj Singh, Jianmin Miao, Lichun Shao, Rama Krishna Kotlanka, Woo-Tae Park, Dim-Lee Kwong
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Volume:
171
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/j.sna.2011.08.012
Fichier:
PDF, 1.53 MB
english, 2011
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