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Study of mechanical properties of PVD ZrN films, deposited...

Scripta Materialia 2004 Vol. 51; Iss. 7

Study of mechanical properties of PVD ZrN films, deposited under positive and negative substrate bias conditions

Cheng-Shi Chen, Chuan-Pu Liu, C.-Y.A. Tsao, Heng-Ghieh Yang
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Volume:
51
Année:
2004
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.scriptamat.2004.06.005
Fichier:
PDF, 368 KB
english, 2004
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