Thermal Stability Enhancement of SLFEPD-Ag on ALD-TiN Film

Physics Procedia 2012 Vol. 25; Iss. none

Thermal Stability Enhancement of SLFEPD-Ag on ALD-TiN Film

Jong Chao-An, Ho Chia-Wei, Chung Ren-Jei, Su Ying-Hao, Chen Bing-Mau
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Volume:
25
Année:
2012
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.phpro.2012.03.085
Fichier:
PDF, 2.34 MB
english, 2012
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