Influence of Si nanocrystal embedded in BOX on radiation...

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 2012 Vol. 272; Iss. none

Influence of Si nanocrystal embedded in BOX on radiation and electrical properties of SOI wafer

Dawei Bi, Zhengxuan Zhang, Ming Chen, Aimin Wu, Xing Wei, Xi Wang
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Volume:
272
Année:
2012
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.nimb.2011.01.078
Fichier:
PDF, 607 KB
english, 2012
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