Effect of deposition conditions on thermo-mechanical...

Microelectronic Engineering 2012 Vol. 95; Iss. none

Effect of deposition conditions on thermo-mechanical properties of free standing silicon-rich silicon nitride thin film

Yun Hwangbo, Jung-Min Park, Walter L. Brown, Jun-Hwan Goo, Hak-Joo Lee, Seungmin Hyun
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Volume:
95
Année:
2012
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/j.mee.2012.03.003
Fichier:
PDF, 1.01 MB
english, 2012
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