Annealing effect on structures and luminescence of...

Materials Letters 2007 Vol. 61; Iss. 28

Annealing effect on structures and luminescence of amorphous SiN films

Jun Xu, Yunjun Rui, Deyuan Chen, Jiaxin Mei, Liping Zhou, Zhanhong Cen, Wei Li, Kunji Chen
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Volume:
61
Année:
2007
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.matlet.2007.03.095
Fichier:
PDF, 362 KB
english, 2007
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