Synthesis and characterization of hafnium...

Materials Letters 2005 Vol. 59; Iss. 14-15

Synthesis and characterization of hafnium tert-butylacetoacetate as new MOCVD precursor for HfO2 films

Sergej Pasko, Liliane G. Hubert-Pfalzgraf, Adulfas Abrutis
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
59
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.matlet.2005.02.024
Fichier:
PDF, 292 KB
english, 2005
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué