Metallorganic chemical vapor deposition of metallic Ru thin...

Metallorganic chemical vapor deposition of metallic Ru thin films on biaxially textured Ni substrates using a Ru(EtCp)2 precursor

Hu-Yong Tian, Helen-Lai-Wa Chan, Chung-Loong Choy, Jong-Wan Choi, Kwang-Soo No
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Volume:
93
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/j.matchemphys.2005.03.002
Fichier:
PDF, 512 KB
english, 2005
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