The microstructure of CVD κ-Al2O3 multilayers separated by...

International Journal of Refractory Metals and Hard Materials 2006 Vol. 24; Iss. 1-2

The microstructure of CVD κ-Al2O3 multilayers separated by thin intermediate TiN or TiC layers

M. Halvarsson, J.E. Trancik, S. Ruppi
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Volume:
24
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/j.ijrmhm.2005.06.007
Fichier:
PDF, 608 KB
english, 2006
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