A novel approach for increasing the strength of an Au/Si...

Microsystem Technologies 2012 / 04 Vol. 18; Iss. 4

A novel approach for increasing the strength of an Au/Si eutectic bonded interface on an oxidized silicon surface

M. Haubold, Y.-C. Lin, J. Frömel, M. Wiemer, M. Esashi, T. Geßner
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Volume:
18
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1007/s00542-012-1440-1
Date:
April, 2012
Fichier:
PDF, 527 KB
english, 2012
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