Effects of pressure and temperature on epitaxial growth of...

Journal of Electronic Materials 1992 / 03 Vol. 21; Iss. 3

Effects of pressure and temperature on epitaxial growth of InP on non-planar substrates using OMVPE

Jeong-Soo Kim, Ji-Beom Yoo, Dong-Hoon Jang, Dae-Kon Oh, Yong-Tak Lee
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Volume:
21
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1007/bf02660450
Date:
March, 1992
Fichier:
PDF, 1.83 MB
english, 1992
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