Analysis and Kinetics of Transient Species in Electrode...

Analysis and Kinetics of Transient Species in Electrode Near Plasma and Plasma Boundary Sheath of RF Plasmas in Molecular Gases

M. Geigl, S. Peters, O. Gabriel, B. Krames, J. Meichsner
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
45
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
9
DOI:
10.1002/ctpp.200510042
Fichier:
PDF, 297 KB
english, 2005
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué