Analysis of organic contaminations on Si(100) by thermal...

Analytical and Bioanalytical Chemistry 1992 / 07 Vol. 343; Iss. 7

Analysis of organic contaminations on Si(100) by thermal desorption spectroscopy

U. Göbel, M. Wesemann, W. Bensch, R. Schlögl
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Volume:
343
Langue:
english
Pages:
11
DOI:
10.1007/bf00324819
Date:
July, 1992
Fichier:
PDF, 1.10 MB
english, 1992
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