Development of nano-roughness under SIMS ion sputtering of...

Surface and Interface Analysis 2012 Vol. aop; Iss. aop

Development of nano-roughness under SIMS ion sputtering of germanium surfaces

E. Iacob, E. Demenev, D. Giubertoni, M. Barozzi, S. Gennaro, M. Bersani
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Volume:
aop
Année:
2012
Langue:
english
Pages:
1
DOI:
10.1002/sia.4997
Fichier:
PDF, 333 KB
english, 2012
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