Radial behaviour of the electron energy distribution...

Journal of Physics D Applied Physics 1999 Vol. 32; Iss. 20

Radial behaviour of the electron energy distribution function in the cylindrical magnetron discharge in argon

Behnke, J F, Csambal, C, Tichý, M, Kudrna, P, Golubovskii, Yu B, Porokhova, I A, Passoth, E
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Volume:
32
Année:
1999
Langue:
english
Pages:
11
DOI:
10.1088/0022-3727/32/20/312
Fichier:
PDF, 720 KB
english, 1999
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