Fabrication technology for silicon-based microprobe arrays...

Journal of Micromechanics and Microengineering 2009 Vol. 19; Iss. 7

Fabrication technology for silicon-based microprobe arrays used in acute and sub-chronic neural recording

Herwik, S, Kisban, S, Aarts, A A A, Seidl, K, Girardeau, G, Benchenane, K, Zugaro, M B, Wiener, S I, Paul, O, Neves, H P
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Volume:
19
Année:
2009
Langue:
english
DOI:
10.1088/0960-1317/19/7/074008
Fichier:
PDF, 1.50 MB
english, 2009
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