Germanium surface passivation and atomic layer deposition...

Semiconductor Science and Technology 2012 / 07 Vol. 27; Iss. 7

Germanium surface passivation and atomic layer deposition of high- k dielectrics—a tutorial review on Ge-based MOS capacitors

Xie, Qi, Deng, Shaoren, Schaekers, Marc, Lin, Dennis, Caymax, Matty, Delabie, Annelies, Qu, Xin-Ping, Jiang, Yu-Long, Deduytsche, Davy, Detavernier, Christophe
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
27
Langue:
english
Journal:
Semiconductor Science and Technology
DOI:
10.1088/0268-1242/27/7/074012
Date:
July, 2012
Fichier:
PDF, 2.15 MB
english, 2012
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué