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The electron-energy distribution function in a shielded...

The electron-energy distribution function in a shielded argon radiofrequency inductive discharge

Godyak, V A, Piejak, R B, Alexandrovich, B M
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Volume:
4
Année:
1995
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1088/0963-0252/4/3/002
Fichier:
PDF, 402 KB
english, 1995
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