Effect of negative substrate bias voltage on the nucleation...

Metals and Materials International 2008 / 06 Vol. 14; Iss. 3

Effect of negative substrate bias voltage on the nucleation and growth of Cu films during the initial stage of ion beam deposition

Jae-Won Lim, Good-Sun Choi, Yongfu Zhu, Minoru Isshiki
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Volume:
14
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.3365/met.mat.2008.06.381
Date:
June, 2008
Fichier:
PDF, 845 KB
english, 2008
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