Kinetic model for dependence of thin film stress on growth...

Kinetic model for dependence of thin film stress on growth rate, temperature, and microstructure

Chason, E., Shin, J. W., Hearne, S. J., Freund, L. B.

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Volume:

111

Année:

2012

Langue:

english

DOI:

10.1063/1.4704683

Fichier:

PDF, 825 KB

english, 2012

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