Structural variations in polysilicon, associated with...

Journal of Materials Science 2001 / 01 Vol. 36; Iss. 1

Structural variations in polysilicon, associated with deposition temperature and degree of anneal

A. A. Parr, D. J. Gardiner, R. T. Carline, D. O. King, G. M. Williams
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Volume:
36
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1023/a:1004817809865
Date:
January, 2001
Fichier:
PDF, 810 KB
english, 2001
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