Interference microscope-profilometer

Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing 2010 / 04 Vol. 46; Iss. 2

Interference microscope-profilometer

E. V. Sysoev, I. A. Vykhristyuk, R. V. Kulikov, A. K. Potashnikov, V. A. Razum, L. M. Stepnov
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Volume:
46
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.3103/s8756699010020111
Date:
April, 2010
Fichier:
PDF, 392 KB
english, 2010
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