Formation of atomically clean silicon surfaces in a...

Formation of atomically clean silicon surfaces in a low-energy low-pressure microwave plasma

V. Ya. Shanygin, R. K. Yafarov
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Volume:
54
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1134/s1063784209120135
Date:
December, 2009
Fichier:
PDF, 202 KB
english, 2009
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