Sputtering Si-Co alloy targets

Russian Metallurgy (Metally) 2008 / 12 Vol. 2008; Iss. 6

Sputtering Si-Co alloy targets

I. G. Kolesnikov, B. M. Freidin, V. I. Serba, Yu. V. Kuz’mich, D. L. Rogachev
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Volume:
2008
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1134/s003602950806013x
Date:
December, 2008
Fichier:
PDF, 332 KB
english, 2008
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